工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm

显示全部楼层 · 2024-9-15 21:08:52|发表时间：2024-9-15 21:08:52

据微信公众号“工信微报”消息，近日，工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。
“工信微报”介绍道，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
而观察者网注意到，在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，集成电路设备方面：氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

工信部网站
《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》

玥有缺 · 2024-9-16 03:02:35

期待这个论坛能够吸引更多有趣的灵魂。

黄鹂 · 2024-9-16 06:40:03

看看

聂小无 · 2024-9-16 07:17:18

感谢分享，非常有用。

鄭大發 · 2024-9-16 09:41:20

感谢楼主，干货不断。

听雨人 · 2024-9-16 16:12:48

内容精彩，继续加油。

書哥 · 2024-9-16 18:56:10

楼上的分析很到位，让我豁然开朗。

绿先森 · 2024-9-16 20:59:07

支持一下